Řada Nikon ECLIPSE L300ND, L300N a L200ND, L200N je navržena pro vysoce přesnou optickou kontrolu waferů (200 mm u L200, 300 mm u L300), retiklů a dalších nosných materiálů. Špičková optika CFI60-2 poskytuje obraz s mimořádnou ostrostí, kontrastem a věrností barev při všech metodách osvětlení. Díky digitální integraci s NIS-Elements, ergonomické konstrukci a možnosti připojení automatického wafer loaderu NWL200 jsou ideální volbou pro moderní polovodičový průmysl.
ECLIPSE L300N
Klíčové vlastnosti:
Pokročilý optický systém CFI60-2
Špičková optika Nikon CFI60-2 je navržena speciálně pro polovodičový průmysl a inspekci waferů. Poskytuje vynikající rozlišení, vysoký kontrast a věrné podání barev při všech typech osvětlení – od brightfieldu a darkfieldu až po polarizaci či DIC. Díky strain-free konstrukci je dosaženo maximální přesnosti bez optických deformací.
Univerzální metody optického kontrastu
Mikroskopy podporují širokou škálu kontrastních metod jak v odraženém, tak v procházejícím světle. K dispozici je brightfield, darkfield, polarizační kontrast (POL), diferenciální interferenční kontrast (DIC), epi-fluorescence, dvoupaprsková interferometrie i fázový kontrast. Tato flexibilita umožňuje přesnou analýzu integrovaných obvodů (IC), velkých displejů (FPD), MEMS a dalších citlivých struktur.
Digitální integrace s NIS-Elements
Díky inteligentní digitální komunikaci mikroskop automaticky rozpozná použitý objektiv, aktuální nastavení osvětlení, clonu a intenzitu světla. Tyto údaje se přenášejí přímo do softwaru Nikon NIS-Elements, který zajišťuje profesionální snímání, dokumentaci a analýzu obrazu. Výsledkem je rychlejší a bezchybné měření s plnou sledovatelností parametrů.
Ergonomie pro dlouhodobou práci
Promyšlené umístění ovládacích prvků, variabilní úhel náklonu okulárového tubusu a optimalizovaná poloha joysticku pro ovládání stolku umožňují pohodlnou práci bez zbytečné únavy i při vícesměnném provozu. Konstrukce zajišťuje stabilitu a plynulý pohyb i při práci s velkými wafery.
Automatizace a wafer loader NWL200
Pro maximální efektivitu lze modely L200N integrovat s automatickým wafer loaderem Nikon NWL200. Tento systém zajišťuje rychlé a bezpečné zakládání waferů, minimalizuje riziko poškození a výrazně zvyšuje propustnost kontroly. Loader je průmyslovým standardem a je široce využíván v polovodičových výrobách po celém světě.
Maximální komfort – všechny ovládací prvky tam, kde je potřebujete
Ergonomicky navržené uspořádání zajišťuje, že všechny hlavní funkce mikroskopu jsou snadno přístupné bez zbytečného pohybu rukou. Ovládací prvky pro osvětlení, kontrastní metody i polohu vzorku jsou intuitivně rozmístěny, což urychluje práci a snižuje únavu obsluhy. Ideální pro dlouhodobé inspekce v polovodičové výrobě.
Parametry






