3D optické profilometry společnosti Sensofar Metrology využívají různé metody měření. Patří mezi ně Proužková projekce, Ai Focus Variation, Konfokální technologie, Interferometrie a Spektroskopická reflektometrie.
Nyní se blíže podíváme na metodu proužkové projekce, která je ideální pro měření velkých ploch a poskytuje vysokou vertikální přesnost a opakovatelnost s nízkým systémovým šumem.
Princip proužkové projekce
Strukturované světlo je promítáno na vzorek z určitého úhlu a následně odražené světlo snímá digitální kamera. Promítaný vzor je na povrchu vzorku modifikován a korelací změn proužkového vzoru se změnami výšky získáváme 3D obraz povrchu vzorku.
Optické schéma
Pro získání uniformní, zaostřené a ekvidistantní proužkové projekce na povrchu vzorku je použita Scheimpflugova konfigurace v kombinaci s bi-telecentrickými čočkami. Systém proužkové projekce Sensofar je navržen tak, aby měl konstantní zvětšení bez ohledu na vzdálenost objektu nebo jeho umístění v zorném poli, což je ideální pro metrologické účely.
Klíčové vlastnosti
- Skutečné jednorázové sejmutí
- Skenování velkých ploch s vysokou vertikální přesností a opakovatelností
(σ = 0.01 µm), se systémovým šumem < 0.5 µm - Obraz v reálných barvách
- Žádné Z-skenování
S WideMetodu proužkové projekce nabízí systém S wide.
- Ai Focus Variation
- Konfokální technologie
- Interferometrie
- Spektroskopická reflektometrie
3D optické profilometry od španělského výrobce Sensofar Metrology patří k tomu nejlepšímu, co současný trh v oblasti bezkontaktního 3D skenování povrchů nabízí. Jejich přehled najdete v produktové sekci.
